在三坐標(biāo)測量機(jī)中垂直度的要素一般為直線和平面?；鶞?zhǔn)要素一般為平面，當(dāng)然也可以是直線。垂直度評價(jià)直線之間、平面之間或直線與平面之間的垂直狀態(tài)。其中一個(gè)直線或平面是評價(jià)基準(zhǔn)，而直線可以是被測樣品的直線部分或直線運(yùn)動，平面可以是被測樣品的平面部分或運(yùn)動軌跡形成的平面。

三坐標(biāo)測量機(jī)能從三維空間的不同方向來對工件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和計(jì)算。所以是測量垂直度比較理想的設(shè)備。

三坐標(biāo)測量機(jī)中的圖例：

指示線的箭頭表示的圓柱的軸線應(yīng)在垂直于基準(zhǔn)平面A的、直徑0.01mm的圓柱內(nèi)。